精密工学会学術講演会講演論文集
2005年度精密工学会春季大会
セッションID: A78
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MEMS商業化技術(2)
マイクロ光学レンズ成形用超精密金型の開発
GC/CNTナノコンポジット金型材の諸特性
*伊藤 寛明伊藤 耕史柴本 裕輔荒井 政大杉本 公一松倉 利顕牛嶋 祐次
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抄録
高融点ガラスモールドプレス用金型材料であるガラス状カーボン(GC)を,気相成長型カーボンナノチューブ(VG-CNT)またはカップスタック型カーボンナノチューブ(CS-CNT)で強化した複合材料を開発し,それらの諸特性を調査した.VG-CNTは熱伝導率の改善効果が高く,一方,CS-CNTは機械的特性の改善効果が高いことを確認した.また,FIBにより,複合材表面を加工すると表面粗さが悪化してしまうが,表面をGC単層とし,内部をカーボンナノチューブで強化した傾斜機能GC/CNTナノコンポジットを開発し,この問題を解決したことについてもあわせて報告する.
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© 2005 公益社団法人 精密工学会
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