微細転写パターンへの樹脂充填プロセスの可視化解析

抄録

本研究では、長距離顕微鏡を超高速ビデオカメラに取り付けて、ピッチ100μmの微細V字型プリズム転写パターンへの樹脂充填過程の可視化観察に初めて成功した。これにより、溝への樹脂充填挙動に及ぼす溝の配置方向、キャビティ厚さの影響が明らかになった。