基準オプチカルフラットを用いた平面度測定機の校正法

抄録

干渉計を利用した平面度測定機の測定能力（測定不確かさ）は使用する参照平面の平面度に大きく依存する。今報告では、絶対値として平面度（PV値）を校正された基準平面（オプチカルフラット）を用いて、参照平面の平面度を含めた平面度測定機の測定能力を評価（校正）する手法と、その不確かさ解析法について発表する。