半導体露光装置における重ね合せ誤差の分析

抄録

半導体露光装置の重ね合せ誤差は，装置の調整不足，プロセスによるウエハ変形，温度や気圧の環境変動など多様な誤差要因によって生じる．本論文は，誤差の主要因を探るため，詳細な誤差分散分析の方法を提案した．初めに分析方法を説明し，次いで，実際の分析例を示す．また，本分析結果のさらなる利用方法を紹介する．