ステッチング法を用いた形状測定における誤差伝播の検証

抄録

我々は、部分的に重なる複数の測定形状を結合することで、1回では測定することのできない長い測定区間での形状を求める、ステッチング法で得られる形状測定値への誤差伝播について検討を行っている。ここでは、誤差が伝播してゆく過程をモデル化し、解析的に得られた誤差見積り量と、真直度測定器で得られた形状測定データを元に求めた形状のばらつき量との比較を通して、誤差見積もり方法の検証を行った。