顕微鏡内蔵型レーザ変位計の開発

抄録

白色干渉顕微鏡による形状測定では，所定の光路差変更毎に干渉画像を多数枚取得することが求められる．我々は振動環境下でも使える装置を開発するために，顕微鏡に内蔵できるレーザー応用高速変位計の開発を試みた．振動により光路差が変動していても，この高速変位計を用いれば，光路差が所定の値になった瞬間に白色干渉画像を取り込むことができ，３次元形状を正しく計測することが可能となるから．このレーザー応用高速変位計を開発した結果に関し報告する．