CMPパッドコンディショニングに関する基礎研究

抄録

ダイヤモンドパッドコンディショニングの基礎的な研究として、ダイヤモンドコンディショニングによって得られたパッド表面状態と研磨レートの関連を調査した。パッドの目詰まり状態、各種コンディショナ仕様および各種コンディショニング条件によって得られるパッド表面状態と酸化膜CMPプロセスの関連付けを行った。