内外周2層構造ダイヤモンドコンディショナによるコンディショニング効果の向上

抄録

CMP用ポリシャのコンディショニング精度高度化を目標に、外周側と内周側に異なる砥粒層を配置した新構造のダイヤモンドコンディショナを試作した。これを用いてコンディショニングしたポリシャの表面状態を観察した結果、パッドプロファイルには外周側が、またパッド表面粗さには内周側砥粒層が寄与していることが分かった。