CMPにおけるパッドドレッシングの検討(第4報)

抄録

可撓性ドレッサーを用いて研磨レート安定性を評価した。ドレッサーの途中部分交換を含むパッド立ち上げ時のレート変化を評価した結果、初期から50枚目までのレート範囲が2450±60A/minと安定して推移した。立ち上げ時のドレッシング面内分布について、色差を用いた均一性評価法により算出した結果、開発ドレッサーでは均一性8.0%と、従来ドレッサーの48.8%と比較して均一にドレッシングすることを示した。