SiC のマイクロマシニング（キーノートスピーチ）

抄録

SiCは機械強度，耐熱性，および化学的安定性に優れているため，MEMS（microelectromechanical system）の材料としても有望である。しかし，その優れた材料特性ゆえに，SiCの微細加工はSiなどに比べて難しい。SiCの微細加工法として，モールディングを用いた表面マイクロマシニング，およびSiモールドを用いたロストモールディングが開発されている。前者は基板上にセンサやアクチュエータを，後者は個別のマイクロ部品を製作するのに用いられる。