貫通多孔質シリコン層を用いた微小物体吸引デバイス 流路の製作

太古 無限; 加藤 厚子; 早瀬 仁則

doi:10.11522/pscjspe.2007S.0.233.0

2007年度精密工学会春季大会

セッションID: C34

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007S.0.233.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

貫通多孔質シリコン層を用いた微小物体吸引デバイス

流路の製作

*太古無限, 加藤厚子, 早瀬仁則

著者情報

キーワード: シリコン, レジスト, 流路

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

細胞等の微小物体を整列固定し,投薬等の操作を行うデバイスの開発を進めている.シリコン基板上に、貫通した多孔質層を形成し,背面から吸引することにより,水に分散させた直径約6μmのスチレンビーズの固定に成功している.しかし,観察には液浸レンズを使用していたため,自由度が低かった.本研究では,基板上に深さ数十μmの流路を形成し透明なカバーを設置することにより,上部からの顕微鏡観察を容易にすることを目指す.

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）