連立方程式法による真直度形状の測定

(第1報) 2組の2点法

抄録

多点走査型真直度形状測定のデータ処理手法として,逐次法や積分法など挙げられる.本研究では,2本の位置センサの配置距離を変えながら2回走査による測定方式に,最小二乗法を利用する連立方程式法を適応する.まず測定システムのモデル化をし,方程式の最小二乗解の存在条件を検討する.次に推定形状の不確かさの計算方法を説明し,シミュレーションによって,理論計算の有効性を確認する.また,各パラメータが不確かさにどんな影響を与えるかについて検討する.