AFM(原子間力顕微鏡)用較正デバイスの研究

鈴木 悠太; 本田 智

doi:10.11522/pscjspe.2007S.0.433.0

2007年度精密工学会春季大会

セッションID: E36

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007S.0.433.0

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主催: 社団法人精密工学会

AFM(原子間力顕微鏡)用較正デバイスの研究

*鈴木悠太, 本田智

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キーワード: 原子間力顕微鏡

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抄録

現在実用化されているAFM(原子間力顕微鏡)の較正方法には,超精密ステージを用いる方法と標準試験片を用いる方法とがある.しかし,これらの方法では大掛かりで複雑な装置を必要とし,測定条件によってAFM像がずれてしまう危険性があった.本研究では弾性ヒンジを用いた新しい較正デバイスを考案したので,これについて報告する.

責任著者(Corresponding author)

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