精密工学会学術講演会講演論文集
2007年度精密工学会春季大会
セッションID: F67
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超音波援用研磨による高NAマイクロ非球面金型の超精密研磨
同時4軸(X,Y,Z,B)制御の研磨装置の開発
鈴木 浩文*稲垣 彰徳沖野 正土方 祥雄森脇 俊道近藤 光男樋口 俊郎牧野 俊清
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抄録

本研究では,これまでに直線振動を用いた超音波援用研磨法を開発し,従来の回転工具等を用いた研磨法では自動化が困難であった直径2 mm以下のマイクロ非球面金型に対し研磨加工の自動化を可能とした.近年,高NAの非球面レンズのニーズが増大しており,本研究ではそれらに対応するために,同時4軸(X,Y,Z,B)制御の研磨装置を開発し,その効果を評価した.

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© 2007 公益社団法人 精密工学会
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