抄録
非球面レンズのような光学素子及び精密部品の形状測定において, 最も広く使用されているのは測定プローブの端子を接触させて計測する接触式測長器である。しかし、計測においては、測定プローブ或いは測定物を載せるステージにはガイドの真直度誤差および可動部のテーブルの運動誤差が存在するため測定誤差の原因となる。開発したシステムは二本のプローブを配置することにより、プローブ或いは測定物を載せるステージのガイドの真直度誤差およびテーブルの運動誤差をリアルタイムで補正することを通して、高精度の接触式長さ測定を実現している。
