小型非接触式機上形状測定システムの性能評価

小林 涼; 森田 晋也; 渡邉 裕; 上原 嘉宏; 林 偉民; 三島 健稔; 大森 整

doi:10.11522/pscjspe.2007S.0.559.0

2007年度精密工学会春季大会

セッションID: F73

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007S.0.559.0

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主催: 社団法人精密工学会

小型非接触式機上形状測定システムの性能評価

*小林涼, 森田晋也, 渡邉裕, 上原嘉宏, 林偉民, 三島健稔, 大森整

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キーワード: 機上測定, 非接触測定, 超精密加工

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抄録

精密機器の小型化，軽量化によるナノ精度の加工の要求に応えるために，非接触式機上形状測定システムを開発した．加工機からワークの着脱を行うことなく，傷をつけずに高精度な測定を行えるようになり，高精度な補正加工が可能となった．本報では，本システムと既存の高精度３次元形状測定器との比較を行い，その結果，本システムが既存の測定器と同程度の精度で測定が行えることが示された．

責任著者(Corresponding author)

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