微小形状測定機の開発に関する研究

抄録

合理的かつスマートな生産システムにおいて重要となる，微細形状計測技術の確立を目指し，超精密測定の分野から超精密加工技術の高度化に寄与する．本研究では微小機械形状を測定対象に，形状測定，真円度，穴形状など製品精度に必要なものを複合的に測定することが可能な，微小形状複合測定装置システムの開発を最終目標とする．本報告では，装置のコンセプトと，基礎的な微小形状測定実験の結果を示す．