レーザ振動計校正規格案ISO16063-41の検証

抄録

2005年に新規提案されたレーザ振動計校正規格案（ISO16063-41）にしたがい、レーザ振動計校正装置を予備的に実現した。支配的な不確かさ要因を調査するために、幾つかの校正条件のもとで、校正が行われている。その結果から、振動速度の安定性、寄生振動、測定位置及びビーム径の影響が検討され、信頼性の高い校正を行うための条件が明らかにされている。校正規格案の厳しい校正条件は概ね妥当であると考えられる。