光学式形状測定器による光沢面の測定

抄録

照射レーザ光スポット位置を検出し物体の変位や形状を測定する方法では,被測定物表面で反射光が散乱しない光沢面には不向きである.この場合,散乱塗料などの塗布が有効であるが,表面処理を行えないこともある.本実験では,ゴムシートで物体を包み込むことによって散乱光が生じ,形状測定が可能であることを確認した.また凹面を有する物体では,内部の真空引きによりシートを物体に付着させることによって測定できる.