精密工学会学術講演会講演論文集
2007年度精密工学会春季大会
セッションID: G06
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液晶格子スキャナを用いた三次元形状計測(第一報)
*松沢 由樹水谷 康弘若山 俊隆藤田 宏夫大谷 幸利梅田 倫弘吉澤 徹
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抄録

工業分野の製品検査において,数μmオーダーでの高精度な計測が求められている.本研究では,液晶格子を用いることで光切断法による三次元形状計測の高精度化を行う.液晶格子は電気制御でスリットパターンを自在に変え,スキャンすることができる.液晶格子とCCDカメラの読み出し信号とを同期させ,サブピクセルの分解能を得ることで高精度な形状計測を行う.

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© 2007 公益社団法人 精密工学会
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