液晶格子スキャナを用いた三次元形状計測(第一報)

松沢 由樹; 水谷 康弘; 若山 俊隆; 藤田 宏夫; 大谷 幸利; 梅田 倫弘; 吉澤 徹

doi:10.11522/pscjspe.2007S.0.583.0

2007年度精密工学会春季大会

セッションID: G06

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007S.0.583.0

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主催: 社団法人精密工学会

液晶格子スキャナを用いた三次元形状計測(第一報)

*松沢由樹, 水谷康弘, 若山俊隆, 藤田宏夫, 大谷幸利, 梅田倫弘, 吉澤徹

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キーワード: 三次元形状計測, 液晶格子, 光切断法

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抄録

工業分野の製品検査において,数μmオーダーでの高精度な計測が求められている.本研究では,液晶格子を用いることで光切断法による三次元形状計測の高精度化を行う.液晶格子は電気制御でスリットパターンを自在に変え,スキャンすることができる.液晶格子とCCDカメラの読み出し信号とを同期させ,サブピクセルの分解能を得ることで高精度な形状計測を行う.

責任著者(Corresponding author)

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