精密工学会学術講演会講演論文集
2007年度精密工学会春季大会
セッションID: G18
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レーザースペックルを用いた長距離振動測定
*横山 智成大内 幹夫川瀬 宏海清水 幸喜
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抄録
本研究ではレーザースペックルを用いて長距離振動計測を行った。光源はヘリウムネオンレーザーを用いた。また、振動ターゲットからの反射光をフォトダイオードで検出をした。その他に、ターゲットからの反射光を大きくするために再帰反射生ミラーを使用した。さらに、ターゲットに照射される光照射範囲はコリメータを用いて変化させた。これらの工夫を加える事で、100mで振動数20Hz、振幅1.7μmで振動するターゲットの振動計測を可能にした。
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© 2007 公益社団法人 精密工学会
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