複数のラテラルシアリング干渉縞による改良型サンダーズ法

抄録

ラテラルシアリング干渉法では、測定面の情報を持った波面を横ずらしして干渉させることによって干渉縞を生成しているため、干渉縞は面の傾きを表している。サンダーズ法では、シアリング間隔ごとにデータを誤差なく積算できるが、シアリング量よりも狭い間隔に存在するデータについては、データ間の関連を得ることができない。そこで、本発表では、シア量を複数与えることによって、これらの問題を解決する方法について報告する。