ファイバ型PS-PDI装置(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)の開発

光ファイバからの回折球面波同士の干渉計測による精度の検証

抄録

大口径ミラーの絶対形状計測を目的としたファイバ型PS-PDI装置(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)の開発を行っている。位相シフト法の改良によるノイズの低減、およびFOW(Fiber Optic Window)投影面により新たに現れるノイズについて言及し、光ファイバからの回折球面波同士の干渉計測から本装置の計測精度について述べる。また直径200mm、曲率半径1500mmの凹面ミラーを計測した際の再現性および現状での問題点について述べる。