Nd:YAGレーザ第5高調波照射によるCVDダイヤモンド膜の表面性状改善

抄録

CVDダイヤモンドを被覆した工具による精密加工が期待されている。しかしCVDダイヤモンド膜の表面性状は良好でないため、平滑化する必要がある。またダイヤモンドは最高の硬度と熱伝導率を持つため、従来の機械的或いは化学的手法では、ダイヤモンドへの影響を免れることは困難である。そこで熱損傷の少ない短パルス紫外レーザ(YAGレーザ第5高調波)をCVDダイヤモンド膜に照射して、その表面性状を観察した。