多層薄膜素子の選択的レーザー加工技術の開発とその時間分解観察(第2報)

加工性と加工現象の相関

抄録

100nm程度の多層薄膜から成る有機EL素子に対し、フェムト秒レーザーによる金属電極層の選択加工を行い、加工部の積層構造によって、加工形状・加工範囲に違いが生じることを発見した。そこで、本研究では、各積層構造における金属電極の加工性と、加工が積層構造に与える影響を詳しく調べた。また、レーザー照射後の試料表面の形状変化を、ナノ秒の時間分解観察システムを用いて観察し、加工性との相関を検討した。