YAGレーザ第四高調波を用いたマイクロ三次元加工法の開発

抄録

レーザ加工は高エネルギー密度のビーム集光により微細な加工が可能であり，また多軸制御の加工ステージを用いることで，微小立体形状の作製が期待できる．しかし，重ね合わせによる従来の平面的な加工法では実用的な微小機能要素の作製は困難である．そこで本研究では，YAGレーザ第四高調波を用いて加工形状に応じた柔軟な加工法およびシステムの開発を行い，マイクロ三次元形状や機械的要素の作製を行った．