ダイヤモンドナイフのイオンビーム加工

抄録

ダイヤモンドは先端が微小なバイト、ナイフや探針などの超精密工具の材料として利用されている。本研究ではダイヤモンドのイオンビーム加工速度の入射角度依存性のデータを用いてイオンビーム加工後のダイヤモンドナイフの先端の形状の予測について検討した。その結果、Ducommunの式を利用し、ダイヤモンドの先鋭化や形状の微細化についての検討できることが分かったので、これについて報告する。