FIB-CVD法によって作製したDLC微小構造体とSi基板界面の微細組織解析

坂本 直道; 安野 拓也; 向後 保雄; 谷口 淳; 宮本 岩男

doi:10.11522/pscjspe.2007S.0.987.0

2007年度精密工学会春季大会

セッションID: K33

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2007S.0.987.0

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主催: 社団法人精密工学会

FIB-CVD法によって作製したDLC微小構造体とSi基板界面の微細組織解析

*坂本直道, 安野拓也, 向後保雄, 谷口淳, 宮本岩男

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キーワード: ダイヤモンドライクカーボン, 集束イオンビーム化学気相蒸着法, 高分解能透過型電子顕微鏡, 微細組織

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抄録

本研究では,微細構造体成型法の一つである集束イオンビーム化学気相蒸着(FIB-CVD)法によりSi基板上にダイヤモンドライクカーボン(DLC)を堆積させ,その断面を透過型電子顕微鏡で観察することで、DLC/Si界面の微細組織を解析した.明視野像からDLCとSiの界面に遷移層の存在が確認でき,高分解能像からこの層が結晶構造を持つことを明確にした.さらに,遷移層の原子分布状態を明らかにした.

責任著者(Corresponding author)

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