イオン化蒸着法によるDLC成膜プロセスの研究

原料ガス種による影響の検討

抄録

DLC(Diamond-like Carbon)薄膜は、高硬度・低摩擦係数など優れたトライボロジー特性を持ち、金型・各種摺動部品等様々な分野で利用されている.近年DLC薄膜は、マイクロツールや超精密金型、医療材料等へさらに応用が広がっている.本研究では、DLC薄膜の原料ガスの違いにおける成膜プロセスを比較しその生成メカニズムを明らかにした。これにより、応用用途に対するDLC薄膜の最適設計を行うことができると考えている。