硬脆材の定圧切削加工

松本 朋丈; 關谷 克彦; 山田 啓司; 山根 八洲男; 福田 将彦; 栗山 邦隆

doi:10.11522/pscjspe.2008A.0.489.0

2008年度精密工学会秋季大会

セッションID: G09

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2008A.0.489.0

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主催: 社団法人精密工学会

硬脆材の定圧切削加工

*松本朋丈, 關谷克彦, 山田啓司, 山根八洲男, 福田将彦, 栗山邦隆

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キーワード: 超精密切削, 硬脆材料, 定圧切削加工, 延性モード, 単結晶シリコン

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抄録

硬脆材の延性モード切削を実現する方法として，定圧切削方式を考えた．本方式による切削加工が原理的に可能なことを無電解ニッケルメッキ層の加工を実施することにより確認した．次に単結晶SiCに対して同様の加工試験を実施したところ，切り込み量が低く押さえられ，本加工法により硬脆材料の延性モード加工が可能であることがわかった．

責任著者(Corresponding author)

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