力センサを内蔵した高速工具制御機構の開発

切削力のインプロセス計測

抄録

最近、マイクロレンズアレイはディスプレイの光源強度分布の補正、視野角向上の目的で多く利用されている。製品の大面積化に対応するためにマイクロレンズアレイの大型化が求められ、加工時間も長時間になり、工具先端の摩耗が起こりやすくなる。そのために、加工中の工具の状態を知ることが重要であり，工具と加工物で生じた切削力をインプロセスで検出することが求められる。本報では高速工具制御機構に組み込んだ力センサによって切削力をインプロセスで計測することについて報告する。