液晶マスクを用いた光造形法によるマイクロ導電パーツの製作

抄録

マイクロ3次元形状を容易かつ高速に造形可能であるマイクロ光造形法だが、その材料は光硬化性樹脂に限られ用途は広くはない。そこで、高導電性を持った銀粒子をフィラーとして光硬化性樹脂に混合し材料として用いることで、マイクロ3次元導電パーツの造形を可能とした。さらに、銀粒子の混合率やサイズ、または造形物に対するアニーリングの条件変化させることで、導電率や造形特性の変化を調査した。