マルチスポット蛍光偏光法によるナノ粒子自己組織化挙動の評価

抄録

本研究はナノ粒子の自己組織化挙動の評価のため，蛍光偏光解析を行い，粒子のブラウン運動挙動および凝集状態の評価をin-situ計測するための技術を開発するものである．加工領域全体におけるナノ粒子凝集体の粒径計測をリアルタイムで実現するため，LCDを透過する光を用いて，マルチスポット照明を実現し，また，CCDカメラを用いて偏光成分の直交する２つの信号を同時に取得できるシステムを提案し，その開発を行っている．本報では，試作したシステムの信号検出特性を評価した結果について報告する．