３点法を用いた形状測定におけるゼロ点ずれ校正値の変動

抄録

３点法を用いた形状測定において問題となる、複数変位計間の感度方向の相対位置ずれ（ゼロ点ずれ）を、対向した２組の３点法プローブによる反転測定値をもとに校正する、ゼロ点調整法において得られるゼロ点ずれ校正値に、系統性な変動が見られた。ここでは、その原因と解消法について検討を行う。