薄い送路のクランク曲げばね型リニアマイクロフィーダ

抄録

マイクロメカニズムとしての板ばねを芯材として一体構造で構成する直進型マイクロフィーダにおいて、板ばねを傾斜させずにクランク形状の直角曲げだけで成形して振動角を付ける。搬送路がシム材の薄い板材だけであっても振幅に比べてたわみを充分小さく抑えられ、剛性の高い搬送路と遜色ない特性が得られることを明らかにするとともに、試作機によって0603マイクロチップが正常に搬送されることを確認した。