金属ナノ粒子の自己組織化を用いたプラズモン導波路に関する研究

抄録

本研究は、金属ナノ粒子の自己組織化を用いてプラズモン導波路を製造することを目的とする。近接場光を高効率で伝搬するプラズモン導波路を設計した。計算から、Si基板上にφ100nmのAu粒子を200nmピッチで一列に配置すればよいことがわかった。Au粒子の位置を制御して接着する方法として、Si基板にシランカップリング層を塗布し、収束イオンビームを用いてパターニングし、Au粒子のコロイド溶液にディップすることを試みた。