加熱処理したナノダイヤモンド粒子の砥粒としての性能評価

抄録

一次粒子径約5nmのナノダイヤモンド粒子を加熱することにより，その表面をグラファイト化することで分散性を向上させるとともに，核のダイヤモンド粒子径を微小化することを試み，その砥粒としての性能を評価した．その結果, 加熱することで凝集力が増し, 単結晶シリコンの研磨において表面粗さは増加した. 一方, カーボンオニオンでは, 微小領域の表面あらさは小さくなり, スクラッチを除去することができた.