紫外線硬化性樹脂を用いたキャリアの製造

抄録

水晶等の硬脆材料の研磨工程にキャリアが広く利用されている。従来のキャリアは金属製あるいは熱硬化性樹脂であったが、この研究では紫外線硬化性樹脂を用いたキャリアの製造を目的とする。樹脂のみでは強度が不足しているため、フィラーなどを添加して強度の向上を図った。開発したキャリアを用いた加工実験結果について報告する。