TiNi（110）薄膜創製を目的としたバッファ層の評価

佐藤 健大; 槌谷 和義

doi:10.11522/pscjspe.2009S.0.689.0

抄録

血液採取用マイクロポンプ・アクチュエータ用TiNi-SMA薄膜の創製を目的とし，バッファ層を用いることにより，良好な形状回復歪を示す，TiNi(110)単結晶薄膜の創製を行う．Nbをバッファ層とし，基板加熱にて成膜を行った場合，TiNi膜中へのNbの拡散が確認された．そこで今回，新たに，化学的に安定であるPtをバッファ層とし採用し，TiNi-SMA薄膜の創製を行い，結晶性・結合状態の評価を行った．

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