Ti-Ni 系形状記憶合金薄膜の抵抗加熱によるアクチュエータ特性の評価

抄録

形状記憶合金薄膜アクチュエータは一般に通電加熱によって駆動する。しかし、通電加熱による形状記憶挙動の評価方法は標準化されていない。本研究では、一定引張応力負荷下で試料に通電加熱した際に生じる試料のひずみ変化を計測できる装置を開発し、スパッタ法によって作製したTi-Ni系形状記憶合金薄膜を評価した。その結果、Ms温度が高い試料や変態温度ヒステリシスの狭い試料ほど、応答性がよくなることが確認できた。