FIB加工による加工用AFMカンチレバーの先鋭化とその応用

清水 大志; 森田 昇; 高野 登; 山田 茂; 大山 達雄

doi:10.11522/pscjspe.2009S.0.751.0

2009年度精密工学会春季大会

セッションID: J80

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2009S.0.751.0

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主催: 社団法人精密工学会

FIB加工による加工用AFMカンチレバーの先鋭化とその応用

*清水大志, 森田昇, 高野登, 山田茂, 大山達雄

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キーワード: 微細加工, 原子間力顕微鏡, カンチレバー, 集束イオンビーム, FIB

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抄録

本研究では，加工用AFMカンチレバーの先鋭化とこれを用いた微細Ｖ溝加工について検討している．本報では，切れ刃のすくい角を変化させて溝加工を行い，すくい角が溝形状へ及ぼす影響について検討を行った．その結果，すくい角0°で溝深さ，溝幅ともに最大となり，アスペクト比は切れ刃の先端角に依存し1.5程度となることがわかった．

責任著者(Corresponding author)

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