マイクロニードルアレイを用いたマスクレス微細めっきパターニング技術の開発（第１報）

静電引力による微小流体吐出挙動の評価

抄録

本研究では，MEMS技術によって作製した極微小な中空構造を有する酸化シリコン製マイクロニードルアレイを用いた新規なマスクレス微細パターニング技術の確立を目標としている．本報では，マスクレスでの微細めっきパターン形成のための基礎的検討として，静電引力を用いためっき液の吐出挙動を評価し，極微量なめっき液制御の可能性を検討した．さらに，本方法を用いた微細めっきパターン形成の基礎実験を行った．