高アスペクトナノ金型の作製と樹脂転写時の離型力の測定

抄録

近年，次世代のリソグラフィ技術として，ナノインプリントリソグラフィが注目を集めている。この技術では，金型から樹脂パターンを転写する際の離型が問題となっている。本研究では，酸素イオンビームを用いてナノスケールの高アスペクト比金型を作製し，樹脂転写時の離型力を測定することにより，金型表面積と離型力の関係について調べた。