デジタルホログラフィによる超分解能計測アルゴリズムの開発（第2報）

井手下 昂史; 高谷 裕浩; 林 照剛

doi:10.11522/pscjspe.2010S.0.387.0

2010年度精密工学会春季大会

セッションID: E33

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2010S.0.387.0

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主催: 社団法人精密工学会

デジタルホログラフィによる超分解能計測アルゴリズムの開発（第2報）

*井手下昂史, 高谷裕浩, 林照剛

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キーワード: デジタルホログラフィ, 超解像

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抄録

近年，光学素子を微細化するために，誘電率の異なる複数の物質が周期的に配列した構造を有するフォトニック結晶等の開発が盛んに行われている．これらの表面形状および内部構造を知るために，本研究では取得する複素振幅像の解像度を向上させた位相シフトデジタルホログラフィを用いることで従来その計測が困難とされた微細形状の3次元計測の実現を目指す．本紙では偏光子アレイカメラを用いた超解像理論の有効性を確認する．

責任著者(Corresponding author)

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