非リンギング方式によるゲージブロックの次世代校正方法（第3報） コンパレータ校正用ゲージブロックの測定

横山 雄一郎; 栗山 豊; 鳴海 達也; 宮倉 常太; 山中 誠

doi:10.11522/pscjspe.2010S.0.401.0

2010年度精密工学会春季大会

セッションID: E43

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2010S.0.401.0

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主催: 社団法人精密工学会

非リンギング方式によるゲージブロックの次世代校正方法（第3報）

コンパレータ校正用ゲージブロックの測定

*横山雄一郎, 栗山豊, 鳴海達也, 宮倉常太, 山中誠

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キーワード: ブロックゲージ, コンパレータ校正用マスタ, 非リンギング, 中央寸法差の差, fo, fu

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抄録

ゲージブロック（以下GB）の組み合わせを用いた基準器として，コンパレータ校正用マスタがある．このマスタは2つのGBにおける中央寸法差の差などが正確に値付けされ，主にGBコンパレータの校正に用いられる．このマスタの値付けは現状の基準面へのリンギングを用いたGB測定方法では高精度測定が難しかった．そこで開発した非リンギング方式のGB干渉計により，現状の方式に比べ簡便かつ高精度な測定を実現した．

責任著者(Corresponding author)

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