金属薄膜上の隣接した２開孔構造における光波励起表面プラズモンの透過伝搬特性の３次元電磁場シミュレーション

押鐘 寧; 江崎 正憲; 中野 元博; 後藤 俊哉; 中尾 優希; 井上 晴行; 片岡 俊彦

doi:10.11522/pscjspe.2010S.0.399.0

2010年度精密工学会春季大会

セッションID: E40

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2010S.0.399.0

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主催: 社団法人精密工学会

金属薄膜上の隣接した２開孔構造における光波励起表面プラズモンの透過伝搬特性の３次元電磁場シミュレーション

*押鐘寧, 江崎正憲, 中野元博, 後藤俊哉, 中尾優希, 井上晴行, 片岡俊彦

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キーワード: 光の近接場, 表面プラズモン, 近接場プローブ, 金属薄膜, 有限要素法, 走査型近接場光学顕微法

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抄録

金属薄膜上の２開孔構造において，光波を照射することにより発生・透過伝搬が期待される表面プラズモン波の振る舞いを，同構造へ直線偏光のレーザー光を垂直照射するモデルを構築し，有限要素法をベースとした３次元シミュレーションソフト「COMSOL Multiphysics」とその電磁場解析オプションを用いて種々のパラメータ（開孔間隔，膜厚，レーザー波長，偏光，膜材質など）についてシミュレーションした結果を述べる．

責任著者(Corresponding author)

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