SEM内微細操作のための自走式xyθφ型ステージの開発

抄録

走査型電子顕微鏡(SEM)内において微細操作を行うには、多自由度マニピュレーションツールが適している。またSEM内ではノイズの発生を防ぐため、非磁性のアクチュエータを用いる必要がある。そこで電磁ノイズの発生しない圧電素子を用いた、円軌道上を移動し、xy方向、チルティング方向の自由度を有するステージの設計・試作を行った。本報告では、SEM内における試作したxyθφ型ステージの性能評価を行う。