Pulsed Plasma Deposition法によるDLC薄膜の作製

抄録

我々は、内径が数mm程度の放電管内で自己ピンチした微小プラズマビームを利用するPPD（Pulsed Plasma Deposition）法により、グラファイトターゲットをアブレーションさせて水素を含まないDLC薄膜の作製を試みた。プルームの分光計測に加えて成長した薄膜の微小硬さ、ラマン分光、AFMなどの評価をもとに最適な成膜条件について検討した。