3次元形状モデルを用いたMEMS工程設計システムの研究（第3報） デバイス・工程連動設計変更機能の実現

北原 知直; 金井 理

doi:10.11522/pscjspe.2010S.0.613.0

抄録

本報では，デバイス形状特徴群の堆積先行関係に基づいたMEMS工程設計手法を提案する．MEMSプロセスを考慮せずに設計されたデバイス形状から，その製造工程を導出しデバイスを製造可能な形状に修正する機能は既に報告済みである．ただし修正後のデバイス形状は設計仕様を満たしていない可能性がある．そこで，導出された製造工程とデバイス形状を関連付け，製造可能でかつ仕様を満たすデバイス形状を効率的に再設計する機能を実現した．

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