ドラム式電着ダイヤモンドワイヤ製造法の基礎検討

抄録

シリコン、サファイアなどの硬脆性材料の切断においては、ダイヤモンドワイヤソーが広く利用されるようになってきた。しかし、ダイヤモンドワイヤソーの製造速度が遅くて生産コストが高いのが現状である。前述した問題を解決するため、著者らはドラム式電着ダイヤモンドワイヤの高速製造法を提案した。この方法の特徴としては、装置がコンパクトでありながら、数本から数十本までのダイヤモンドワイヤを同時に製造できる。